主要技术指标: 2.1测量范围:X=500mm,Y=600mm,Z=400mm 2.2空间测量示值误差:E≤2.7+L/250µm 2.3探测误差:R≤2.8µm 2.4分辨率:0.5µm 2.5较大运动速度:300mm/s 2.6较大承受重量:500kg 2.7仪器重量:650kg 2.8外型尺寸:1500mm×1250mm×2500mm 2.9环境要求: 温度范围:20±2℃,0.5℃/h 气源压力: 0.6MPa~0.8MPa,200L/min(0.4MPa) 湿度范围:45%-65% 电源: 220V±10% ,50Hz 功率:1200瓦 地面振动:频率范围:0~6Hz, 6~50Hz, >50Hz 振 幅:7.6µm, 2.5µm, 7.6µm